簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="微影製程"


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    基於適應性預測模型之光罩圖案設計
    • /110/ 碩士
    • 研究生: 郭鎧瑜 指導教授: 郭鴻飛
    • 在記憶體DRAM製造的過程中,透過微影製程技術將設計之光罩轉印至光阻為一項至關重要的技術,但隨著線寬持續微縮,193nm浸潤式微影製程上達到物理極限,必須透過解析度增強技術(Resolution E…
    • 點閱:392下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    應用基因演算法於含次級解析輔助特徵圖案之光學鄰近修正技術
    • /106/ 碩士
    • 研究生: 黃鈺儒 指導教授: 郭鴻飛
    • 由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難,無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產,因此吸引許多研究者尋找改善方案,其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
    • 點閱:943下載:23

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    基於KNN模型放置目標圖案關鍵點技術開發
    • /107/ 碩士
    • 研究生: 曾煒翔 指導教授: 郭鴻飛
    • 由於機器學習在各領域應用的崛起,機器學習已經廣泛的應用在圖像辨識、資料探勘、語音辨識與處理、搜尋引擎、醫學診斷、金融模型設計等,訓練機器學習模型模仿人類的經驗已經成為趨勢,並使用機器學習取代重複性高…
    • 點閱:412下載:0
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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